Scanner为什么那么快？

知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：ASML的TWINSCAN XT系列的scanner机台的WPH最高能达到300pcs，为什么Scanner的产能远远高于stepper？

什么是stepper和scanner？

sepper，全名步进投影式光刻机。Stepper 每次曝光晶圆上的一小块区域，即一个shot，然后晶圆在曝光后移动到下一个区域，重复此过程，逐步曝光整个晶圆。scanner,全名步进扫描投影式光刻机。

为什么Scanner更快？

这要从其工作原理来入手。

Stepper 每次曝光晶圆上的一小块区域，即一个shot，然后只有晶圆在曝光后移动到下一个区域，掩模版不动重复此过程，逐步曝光整个晶圆。

而Scanner是一个狭长的光束（狭缝光束）投影到晶圆的每个芯片上进行曝光。晶圆在曝光时不断移动，掩模和晶圆之间向相反方向移动，光束逐步扫描整个晶圆。见视频：在Scanner中，掩模版和晶圆在曝光时同时移动，减少了曝光过程中的停顿时间。另一方面Scanner在曝光时不需要频繁地进行对准和定位。这两个方面使Scanner极大地提高了时间利用率。

哪些机台会用Scanner的方式？

以ASML的机台为例，之前的i线光刻机普遍采用的是stepper，现有的DUV,EUV产品均是采用的是Scanner。

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