HDP Oxide 是利用高密度等离子体增强CVD技术(HDP-CVD)所沉积的二氧化硅介质薄膜。
HDP Oxide具有超高密度、致密膜层,高深宽比结构的优良填充能力等特点。
HDP Oxide的典型应用包括STI(Shallow Trench Isolation,浅沟槽隔离)填充、Passivation(钝化层)等,其沉积的薄膜密度高,缺陷少,填充能力强。
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