• 正文
  • 相关推荐
申请入驻 产业图谱

什么是HDP Oxide?

08/18 12:20
717
加入交流群
扫码加入
获取工程师必备礼包
参与热点资讯讨论

HDP Oxide 是利用高密度等离子体增强CVD技术(HDP-CVD)所沉积的二氧化硅介质薄膜。

HDP Oxide具有超高密度、致密膜层,高深宽比结构的优良填充能力等特点。

HDP Oxide的典型应用包括STI(Shallow Trench Isolation,浅沟槽隔离)填充、Passivation(钝化层)等,其沉积的薄膜密度高,缺陷少,填充能力强。

 


文章中如果有任何错误和不严谨之处,还望大家不吝指出,欢迎大家留言讨论。部分图片来源于网络,如有侵权,请联系小编删除。

相关推荐

登录即可解锁
  • 海量技术文章
  • 设计资源下载
  • 产业链客户资源
  • 写文章/发需求
立即登录